技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 >干法刻蝕

干法刻蝕

更新時間:2020-11-05   點擊次數:3156次

 

在半導體制造中,干法刻蝕是用來去除表面材料的主要的刻蝕方法。干法刻蝕是把硅片表面暴露于氣態中產生的等離子體,等離子體通過光刻膠中開出的窗口與硅片發生物理或化學反應,從而去掉暴露的材料。

一個等離子體干法刻蝕系統由發生刻蝕反應的反應腔、一個產生等離子體的射頻電源、氣體流量控制系統、去除刻蝕生成物和氣體的真空系統等組成。刻蝕反應系統包括傳感器、氣體流量控制單元和終點觸發探測器。一般的干法刻蝕中的控制參數包括真空度、氣體混合組分、氣流流速、溫度、射頻功率和硅片相對于等離子體的位置。常用的干法等離子體反應器類型包括圓筒式等離子體反應器、平板式反應器、順流刻蝕系統、三級平面反應器、離子銑、反應離子刻蝕器、高密度等離子體刻蝕機等。

主站蜘蛛池模板: 日产精品卡2卡三卡乱码网址| 波多野结衣在线影院| 国产探花视频在线观看| 97精品一区二区视频在线观看| 影音先锋人妻啪啪av资源网站| 久久久无码精品亚洲日韩蜜桃| 最近的中文字幕国语电影直播| 亚洲日韩精品欧美一区二区| 狼群影院www| 公交车老师屁股迎合我摩擦 | 无遮掩60分钟从头啪到尾| 么公的又大又深又硬又爽视频| 欧美国产精品不卡在线观看| 亚洲第一区精品日韩在线播放| 真实处破女系列全过程| 另类一区二区三区| 色噜噜狠狠狠综合曰曰曰| 国产午夜无码视频免费网站| 免费足恋视频网站女王| 国产精品多p对白交换绿帽| 91精品一区二区三区在线观看| 在线观看www日本免费网站| eeuss影院免费92242部| 少妇人妻在线视频| 一进一出60分钟免费视频| 成都4片p高清视频| 丰满肥臀风间由美357在线| 日本爽爽爽爽爽爽在线观看免| 久久精品国产精品青草| 最近中文字幕mv高清在线视频| 亚洲人成影院在线无码按摩店| 欧美性猛交xxxx| 亚洲欧美另类综合日韩| 污网站免费观看污网站| 亚洲色欲久久久综合网| 狠狠干.com| 人妻尝试又大又粗久久| 理论片福利理论电影| 人妻少妇精品中文字幕AV蜜桃| 男女一对一免费视频| 免费福利小视频|