技術文章您的位置:網站首頁 >技術文章 >刻蝕工藝

刻蝕工藝

更新時間:2020-10-21   點擊次數:4311次

刻蝕是用化學或物理的方法有選擇地從硅片上去除不需要材料的過程。刻蝕是在硅片上進行圖形轉移的后主要工藝步驟。半導體刻蝕工藝有兩種基本方法:干法刻蝕和濕法腐蝕。干法刻蝕是亞微米尺寸下刻蝕器件的主要方法,濕法腐蝕使用液體腐蝕的加工方法,主要用于特征尺寸較大的情況。

按照被刻蝕材料來分,干法刻蝕主要分成:金屬刻蝕、介質刻蝕和硅刻蝕。刻蝕也可以分成有圖形刻蝕和無圖形刻蝕。有圖形刻蝕可用來在硅片上制作不同圖形,例如柵、金屬互連線、通孔、接觸孔和溝槽。無圖形刻蝕用于剝離掩蔽層。有圖形或無圖形刻蝕都可以分別采用干法刻蝕或濕法腐蝕。

刻蝕的主要工藝參數有:刻蝕速率、刻蝕剖面、刻蝕偏差、選擇比、均勻性、殘留物、聚合物、等離子體誘導損傷、顆粒玷污和缺陷。

主站蜘蛛池模板: 两个人一上一下剧烈运动| 亚洲精品视频专区| 日本高清在线免费| 夜夜躁狠去2021| 中文字幕日韩欧美一区二区三区| 欧美一区二区三区综合色视频| 再深点灬舒服了灬太大了在线观看| 麻豆一区二区99久久久久| 奶大灬舒服灬太大了一进一出| 久久亚洲精品无码gv| 欧美一级爽快片淫片高清在线观看| 亚洲综合视频在线| 精品哟哟哟国产在线观看不卡| 国产乱女乱子视频在线播放| 免费观看国产网址你懂的| 国产高清免费在线观看| www.亚洲精品| 成人午夜18免费看| 久久九九热视频| 星空无限传媒好闺蜜2| 亚洲国产精品久久久天堂| 熟女性饥渴一区二区三区| 再深点灬舒服灬太大了动祝视频| 亚洲成A∨人片在线观看无码 | 欧美www在线观看| 免费a级毛片在线播放| 老司机激情影院| 国产又粗又猛又爽又黄的免费视频| 毛茸茸bbw亚洲人| 国产色无码精品视频国产| 一本大道加勒比久久| 把腿抬起来就可以吃到扇贝了 | 国内一级黄色片| a级**毛片看久久| 少妇精品久久久一区二区三区| 中日韩精品视频在线观看| 日韩剧情片电影网址| 乱人伦人妻中文字幕无码| 清超市欲目录大团结| 伊人久久影院大香线蕉| 中文字幕乱码无线码在线|